一、設備概況

1.1應用領域：晶圓甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。

1.2名稱：雙腔室甩干機

1.3型號：CSM870S

1.4尺寸：710mm*460mm*1850mm  

1.5晶圓規格：2-6 英寸

二、主要結構特征

2.1 結構特征

雙腔室甩干機主要由主軸傳動部分，片盒夾具，工作腔，機架，門蓋部分，潔凈管路部分，電氣控制等組成。

2.1.1材質：不銹鋼機架+10mm PP板外殼

2.1.2設備機架：SUS304不銹鋼材料，能夠滿足潔凈室工作環境。

2.1.3腔體和載體采用耐腐蝕SUS316L不銹鋼并電化學拋光。片架載體可方便更換。

2.1.4電機及轉子經精密的動平衡處理，減少設備共振。

2.1.5采用專用定制無刷電機及控制器，保證設備的穩定、可靠及滿足系統對潔凈度處理的要求。

2.1.6管路系統：PFA潔凈管路

2.2 工藝腔體及載體

2.2.1工藝腔數量∶2個 材質為不銹鋼316L（腔體電解拋光處理）

2.2.2規格∶ 加工尺寸 2-6 英寸全高片盒，可兼容。

2.2.3工作轉速∶ 200—2200 RPM/MIN

2.2.4加熱功能∶ 氮氣加熱  腔體加熱

2.2.5軸封：電機轉軸采用氮氣軸封。

2.3 純水控制單元：

2.3.1采用扇形沖洗噴嘴。

2.3.2排水口安裝電阻率探頭，對腔體排水水質進行監測。

2.3.3沖洗工藝完成后，氮氣將殘留在沖洗管路內的去離子水吹凈。

2.3.4待機時，保持回水盒內有水流入且流量可調。

2.4 氮氣控制單元：

2.4.1管件閥門： SMC電磁閥、 PFA高純管件、 PTFE氣控閥門。

2.4.2氮氣加熱功能： 316不銹鋼加熱器在線加熱，溫度開關控制， 加熱溫度控制在 80℃。

2.4.3配置高潔凈型減壓閥，內置氮氣過濾器，過濾精度 0.003μm。

2.5 防靜電控制單元：

2.5.1由高壓發生器、氮氣電離室及氮氣控制通道組成。

2.5.2當氮氣通過高壓發生器的控制區時，氮氣電離充斥整個工藝腔體，形成中和平衡消除靜電。

2.6 顆粒度：

顆粒增加值：需與客戶確認

2.7 電控單元及軟件系統：

2.7.1 甩干工藝過程由 PLC 控制器+觸摸屏控制，可選擇設置多種用戶工藝菜單，并對每 個菜單的內容如：時間、速度參數進行設置。

2.7.2系統軟件還具有密碼權限設置，故障顯示及報警功能。設備出現故障時，系統會停止工作并顯示錯誤信息、報警以提示更改和維修。

2.8 工藝流程：

去離子水旋轉沖洗＋離心甩干氮氣烘干

建議工藝參數：

三、主要技術參數