1、設備概況
1.1應用領域：單片清洗甩干機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實現(xiàn)。其主要用于兼容4-12寸晶圓半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的刷洗干燥工藝。具有成本低，快速應用生產(chǎn)等優(yōu)點。
1.2名稱：單片清洗甩干機
1.3型號：QXG-300-4YDN
2、主要結(jié)構(gòu)特征
單片清洗甩干機主要伺服電機，PLC控制器，人機界面，高潔凈閥門，PFA管，氮氣加熱器，防腐蝕進口PP外殼，以及甩干頭等部分組成。
2.1材質(zhì)：進口PP板，能夠滿足潔凈室工作環(huán)境。
2.2專用伺服電機，可實現(xiàn)每分鐘10-5000轉(zhuǎn)，低速均勻清洗，高速離心甩干。
2.3工業(yè)PLC控制器和人機界面，穩(wěn)定可靠控制各個部件，直觀可視化操作模式。
3、主要技術參數(shù)
項目 | 主要性能指標和參數(shù) |
加工尺寸 | 兼容4-12寸晶圓 |
單次甩干數(shù)量 | 1片 |
工位數(shù)量（個） | 1 |
機臺上下片方式 | 手動上下片 |
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN | 10-5000rpm可設定 轉(zhuǎn)速精度＜1rpm |
清洗方式 | 雙面PVA刷洗/兆聲清洗/N2氮氣吹干 |
藥液數(shù)量 | 1種 |
藥液噴嘴 | 上下兩面 獨立供液 |
藥液槽 | 1個 10L PVDF藥液槽 |
適用藥液類型 | NH40H或其他清洗藥液 |
供藥方式 | PVDF磁力泵或壓控閥 |
藥液流量調(diào)節(jié) | PFA手閥 10ml-1000ml/min |
藥液流量監(jiān)控 | 有 |
PVA刷布局 | 上下各一個 |
PVA刷尺寸 | 長度170mm內(nèi)徑31mm外徑70 mm |
DIW水沖洗 | 有 |
DI水流量調(diào)節(jié) | PFA手閥 10ml-1000ml/min |
兆聲波噴頭 | 有 |
吹氣功能 | 有 帶錐形和扇形噴嘴可更換 |
清洗甩干時間 | 2-5min |
氮氣壓力 | 0.15Mpa，氮氣管接口1/4英寸 |
純水壓力 | 0.15Mpa， 管接口3/8mm |
排水管 | 2路φ20mm（水 藥液1） |
顯示/控制系統(tǒng) | 7寸觸摸屏+PLC可編程控制器 |
管路材料 | PFA |
電源 | 220V |
整機功率 | 3KW |
外型尺寸（深*寬*高）mm | 長660mm*寬760mm*高1332mm |