一、設備概況

1.1應用領域：單片清洗甩干機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有藥液腐蝕，純水清洗，高速甩干，氮氣烘干等特點。不同晶圓尺寸，可通過快速更換甩干頭來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的清洗干燥工藝。具有成本低，快速應用生產等優點。

1.2名稱：單片清洗甩干機

1.3型號：QSG-150-2Y

二、主要結構特征

單片清洗甩干機主要伺服電機，PLC控制器，人機界面，高潔凈閥門，PFA管，氮氣加熱器，防腐蝕外殼，以及甩干頭等部分組成。

2.1材質：進口PP板，能夠滿足潔凈室工作環境。

2.2專用伺服電機，可實現每分鐘10-3000轉，低速均勻清洗，高速離心甩干。

2.3工業PLC控制器和人機界面，穩定可靠控制各個部件，直觀可視化操作模式。

2.4大功率氮氣加熱器，快速加熱氮氣，提高烘干效率。

2.5甩干頭詳情 可根據客戶需要定制適用不同規格尺寸的甩干頭。

2.6可配置多組藥液沖洗，并有藥液回吸功能。

三、主要技術參數